이물개선을 위한 클린 룸 제조설비 내 기류해석 연구
XXXX주식회사
반도체 및 LCD 생산 공정은 고 청정이 요구되는 환경으로서 횡기류 영역과 유동 정체영역 및 난류강도 과도영역의 등을 통한 기류 제어는 생산 불량률과 직접적으로 연관되어 있다. 특히, 파운드리 또는 FAB의 반도체나 LCD 제조 공정 중 일부는 클린 룸 안에서도 특별히 더 청정도를 유지하기 위해 부스 형태로 작동되며, 내부 기류 안정도는 더욱 철저히 관리 되어야 한다.
FAB 내 오염 물질 발생이 우려되는 공정의 부스 기류가 인접한 고청정 FAB으로 침기되면, 불량 률은 더욱 현저히 증가하게 된다. 이러한 기류 분석을 통해 불량률 감고시도가 많이 있어왔으며, 기류 분석툴로 주로 상용 전산 열 유체 (CFD) 해석 기법이 사용되어 왔다.
이 과제의 목적은 FAB 내 국소 배기, 차폐판 설치, 천정 Fan Unit 및 바닥판 통기도등을 조절하여 CFD해석을 수행 함으로써, FAB 내 제조 공정의기류청정도 개선방안을 제시함으로써, 제품생산 공정중 기류제어 개선을 통해 불량발생요소가 감소하는 것이다.
클린 룸 내 물품 이송용 로봇이 포크에 적재된 물품을 가공지역으로 이동 시, 클린 룸 내 기류에 강한 영향을 주게 되어 그림 2와 같은 기류분포를 나타낸다. 우측 천정부에서 하강하던 급기와 우측 벽면에서 유입되는 기류가 이동로봇의 움직임에 따른 관성 효과에 의해 좌측으로 딸려가고 있는 현상을 관찰 할 수 있다. 또한 바닥 부근의 기류는 유동장의 교란에 의해 국부적으로 재 순환영역이 발달하는 것을 할 수 있다.
이러한 유동 교란은 국부적인 곳에 머물로 있던 미세먼지 덩어리들을 이동하게 하는 힘을 이동하게 하는 힘을 제공하게 되고, 이러한 효과가 빈번하게 나타나는 경우 공간 상을 떠돌아 다니던 미세먼지 입자가 제품에 내려 달라 붙게 되며 이는 종국적으로는 고 청정을 유지해야 하는 제품의 품질 불량으로 연결될 수 있게 된다.
“상기 기술에 대한 상세한 문의는 당사 고객센터 (070-8255-6001 / young@deltaes.co.k)로 문의하여 주시기 바랍니다.
감사합니다.”