본 과제는 CFD 해석을 통한 반도체 설비 설계 개선 프로젝트 이다.
국내에서 최초로 시도되는 방법을 이용하여 연구개발 과제가 진행되었다.
특히 3D CAD가 없는 상태에서 설비의 모든 부품에 대해 3D CAD data를 확보하였고,
이로 부터 CFD 해석을 수행하였다.
설비 내 전 공정이 동적으로 작동하는 경우에 대한 Unsteady State CFD 해석이 진행되었으며,
이를 위해 설비 내 로봇의 움직임과 컨베어벨트 및 패키징 시스템, 웨이퍼, 각종 기어 시스템 등 모든
설비의 움직임을 직접 구현하여 CFD 해석을 수행하였다.
또한, 복잡한 설비 내 유동을 잘 표현하기 위해 LES 난류 모델을 사용하였다.
CFD 해석 결과는 고객사에서 수행한 각종 실험 결과와 비교하였으며, 매우 유사한 경향이 있음을 확인 하였다.
본 과제 결과는 향후 반도체 공정 설비의 설계 개선에 많은 도움이 될 것으로 기대하고 있다.
(주) 델타이에스
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